Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩定性。

半導體溫控設備Chiller由制冷，加熱單元，循環，控制系統組成，全密封結構對環境友好，產品系統多，控溫范圍廣，智能化控制軟件，加熱制冷速度快。