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         普泰克制冷設備
      
        專注于半導體行業溫控
        
    
        
    
        
      
        服務熱線：021-51602552
        
    
        
  
        

        

        

        
  
        
    
    
        
      
        
        
        
      
        
    
        
  
        

        
 





        
	
    
        
    	
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        • Chiller
          

          
    
    
          Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩定性。
          
    
          
        
          
            
          更新時間：2025-08-12
          
            
          產品型號：
          
            
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        • 半導體溫控設備Chiller
          

          
    
    
          Chiller半導體溫控設備主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩定性、控溫精度和反應速度。
          
    
          
        
          
            
          更新時間：2025-08-12
          
            
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