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        半導體溫控設備Chiller

        簡要描述:半導體溫控設備Chiller由制冷,加熱單元,循環,控制系統組成,全密封結構對環境友好,產品系統多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。

        • 產品型號:
        • 廠商性質:生產廠家
        • 更新時間:2024-11-09
        • 訪  問  量:4124
        詳情介紹

        半導體溫控設備Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫,裝置由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成,采用先進的控制算法,提高了chiller的穩定性、控溫精度和反應速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃,可在-20℃~85℃之間任意控溫,有良好的溫度穩定性。

        半導體溫控設備chiller由制冷,加熱單元,循環,控制系統組成,全密封結構對環境友好,產品系統多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。

        產品分為:
        1.單通道系列
        2.雙通道系列
        3.三通道系統

        產品細節:


         

         

         


        半導體溫控設備chiller參數說明:

          名稱 參數 名稱 參數 名稱 參數
        1 單通道系列 -20℃~+80℃ 雙通道系列 -45℃~+40℃ 三通道系列 -20℃~+50℃
        2 溫度范圍 ±0.1℃ 溫度范圍 ±0.2℃ 溫度范圍 ±0.1℃
        3 精度 2kw@-10℃ 精度 11kw@-20℃/5kw@-40℃ 精度 15kw@-10℃
        4 冷卻能力 3kw 冷卻能力 2kw 冷卻能力 2kw
        5 加熱能力 20LPM@0.6MPa 加熱能力 17LPM@0.6MPa 加熱能力 30LPM@0.85MPa
        6 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4"
        7 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C
        8 溫度范圍 15LPM 溫度范圍 30LPM 溫度范圍 30LPM
        9 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc3/4"*2
        10 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa
        11 進口壓力  / 進口壓力  / 進口壓力  /


        我們的優勢:

         

         

         

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