TLS精密冷水機：使用溫度范圍：5~85℃，配有加熱器，屬于制冷加熱一體機。型號按加熱功率命名，加熱功率在1.5~25kW之間。精密冷水機可以滿足精確控溫的需求，也可以根據客戶要求選配流量計和壓力傳感器。本產品適用于半導體制造裝置、分析檢測裝置等發熱部分的冷卻及溫度的控制。