
詳情介紹
Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產品,可實現對設備出口溫度的精準控制,控溫精度在±0.1℃以內。產品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域,激光、醫療和精密實驗室溫控方案。主要部件均采用國際的品牌,產品穩定性高。循環系統包括循環泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統采用PID控制技術,高清觸摸屏顯示,設有多項保護功能,確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。
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