半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。

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更新時間：2025-08-12

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021-51602552

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半導(dǎo)體高低溫測試機

高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng) 溫變測試系統(tǒng) 制冷加熱循環(huán)器恒溫循環(huán)器半導(dǎo)體制冷裝置半導(dǎo)體制冷恒溫系統(tǒng) 半導(dǎo)體專用溫控裝置半導(dǎo)體晶圓溫度控制半導(dǎo)體溫控設(shè)備chiller 半導(dǎo)體溫控裝置半導(dǎo)體專用控溫設(shè)備半導(dǎo)體恒溫半導(dǎo)體恒溫系統(tǒng) 高低溫循環(huán)器高低溫一體機高低溫循環(huán)裝置高低溫一體循環(huán)機高低溫冷熱臺控溫設(shè)備半導(dǎo)體冷水機半導(dǎo)體溫控系統(tǒng) 半導(dǎo)體制冷冷水機半導(dǎo)體冷卻一體機半導(dǎo)體高低溫系統(tǒng) 半導(dǎo)體芯片測試?yán)渌畽C 半導(dǎo)體冷卻加熱恒溫一體機芯片半導(dǎo)體專用冷水機恒溫恒流恒壓冷水機晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)

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產(chǎn)品介紹

半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。

半導(dǎo)體器件高低溫測試設(shè)備特點：

變頻控制，智能PID控制

預(yù)測控制及自適應(yīng)控制

模塊化功能定制，高效節(jié)能

兩級閉環(huán)節(jié)能控制

普泰克（proteco)制冷設(shè)備技術(shù)集合了多位生物制藥領(lǐng)域、機械設(shè)計、軟件自控的專業(yè)人才，依托于浙江大學(xué)制冷研究院的技術(shù)團(tuán)隊支持，致力于高低溫設(shè)備的研究、開發(fā)、制造、銷售。

我司借鑒歐美技術(shù)，以模塊化部件為平臺，衍生出多款高低溫設(shè)備產(chǎn)品，提出：“個性化溫度控制解決方案"的理念！嚴(yán)格按照客戶要求進(jìn)行規(guī)劃和制造，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國內(nèi)外科學(xué)研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術(shù)、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導(dǎo)體、醫(yī)療技術(shù)等行業(yè)。

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