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        • 溫濕度控制系統(tǒng)
          溫濕度控制系統(tǒng)

          溫濕度控制系統(tǒng)在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過(guò)此設(shè)備處理后的空氣,溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對(duì)溫控的要求。

          更新時(shí)間:2024-11-09型號(hào):瀏覽量:599
        • 溫濕度控制
          溫濕度控制

          溫濕度控制在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過(guò)此設(shè)備處理后的空氣,溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對(duì)溫控的要求。

          更新時(shí)間:2024-11-09型號(hào):瀏覽量:697
        • 氣體溫濕度
          氣體溫濕度

          氣體溫濕度在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過(guò)此設(shè)備處理后的空氣,溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值±0.01℃,充分滿足制程環(huán)境對(duì)溫控的要求。

          更新時(shí)間:2024-11-09型號(hào):瀏覽量:540
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