普泰克-半導(dǎo)體芯片溫度測(cè)試維修保養(yǎng)

三、測(cè)試設(shè)備維修保養(yǎng)

1. 高低溫探針臺(tái)保養(yǎng)

• 日常保養(yǎng)

• 探針：每次使用后用無(wú)水乙醇擦拭探針針尖，去除氧化層和污染物，避免針尖磨損或接觸不良；定期檢查探針臂張力，防止變形。

• 樣品臺(tái)：清潔表面污漬（用軟布蘸異丙醇），檢查導(dǎo)熱涂層（如鍍金層）是否脫落，脫落需重新鍍膜以保證溫度均勻性。

• 溫度控制系統(tǒng)：每周檢查制冷 / 加熱管路（如液氮管道）是否泄漏，加熱絲是否老化；每月校準(zhǔn)溫度傳感器（用標(biāo)準(zhǔn)溫度計(jì)對(duì)比）。

• 定期維護(hù)（每 6-12 個(gè)月）

• 校準(zhǔn)溫度穩(wěn)定性：用精密測(cè)溫儀（如 FLUKE 5520A）在關(guān)鍵溫度點(diǎn)（如 - 40℃、25℃、125℃）驗(yàn)證波動(dòng)是否≤±0.1℃。

• 真空 / 氣氛系統(tǒng)：檢查真空泵油位，更換老化密封圈，確保真空度達(dá)標(biāo)（≤10??Pa），避免低溫下樣品結(jié)霜。

2. 紅外熱像儀保養(yǎng)

• 鏡頭維護(hù)：用專用鏡頭紙蘸鏡頭清潔劑擦拭，避免指紋或灰塵影響成像；長(zhǎng)期不用時(shí)蓋好鏡頭蓋。

• 傳感器校準(zhǔn)：每年送廠校準(zhǔn)，確保測(cè)溫精度（可通過(guò)黑體爐在 - 50~300℃范圍內(nèi)驗(yàn)證）。

• 電池與存儲(chǔ)：鋰電池需定期充放電（每月 1 次），避免長(zhǎng)期虧電；存儲(chǔ)環(huán)境需干燥（濕度≤60%）、無(wú)腐蝕性氣體。

3. 熱電偶 / 熱電阻保養(yǎng)

• 檢查接線端子是否松動(dòng)或氧化（氧化會(huì)導(dǎo)致接觸電阻增大，誤差增加），定期用細(xì)砂紙打磨并涂抹導(dǎo)電膏。

• 發(fā)現(xiàn)熱電偶絲破損、絕緣層老化時(shí)及時(shí)更換（尤其是高溫下使用的 K 型熱電偶，壽命約 1000 小時(shí)）。